Characterization and metrology for ULSI technology 2000 - international conference : Gaithersburg, Maryland, 26-29 June 2000
- Författare
- International Conference on Characterization and Metrology for ULSI Technology (2000 : Gaithersburg) David G. Seiler
- (Editors: David G. Seiler.., Härtill CD-ROM)
- Genre
- Konferenser, Ej skönlitteratur, Konferenspublikation
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| American Institute of Physics | 2001 | USA, Melville, N.Y | 708 sidor. |